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半導体ヒータ

[分類]シースヒータ

[概要]

半導体製造に広く応用されている重要な装置である

製品の紹介


半導体製造に広く応用されている重要な装置である


仕様&マテリアル


6寸、8寸、10寸、12寸


用途&特徴


それは化学蒸着(CVD)、物理蒸着(PVD)などのプロセスステップにおいて重要な役割を果たしている。この加熱盤はプロセスの安定性と製品の品質に直接影響するだけでなく、その技術指標、例えば温度範囲、加熱均一性などはプロセスの成功を保証する重要な要素である。ウエハの加熱に特化し、プロセス全体にわたって温度の均一な分布を確保し、プロセスの一貫性と製品品質を向上させる。

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