製品の紹介

HONGDUAN製のアルミニウム真空チャンバはその軽量化、高熱伝導性、良好な気密性及び耐食性などの特性により、多くの分野で重要な応用がある。

仕様&マテリアル

カスタマイズのサポート：形状、規格、サイズカスタマイズ

材料：アルミニウム

用途&特徴

一般的なアプリケーションシーンと例を示します。

1.半導体とマイクロエレクトロニクスの製造

適用例：

プラズマエッチング装置：キャビティは真空環境を維持し、プラズマに合わせてチップのナノスケールエッチングを行うために使用される。

化学蒸着（CVD）：真空チャンバ内にシリコン、窒化ガリウムなどの薄膜材料を蒸着する。

利点：アルミニウム合金の耐熱変形能力は高温プロセスに適応でき、汚染を減らすことができる。

2.光学とレーザー技術

適用例：

高出力レーザ：真空チャンバは、COタンパレーザ切断機の共振チャンバのようなレーザエネルギーの散乱または吸収を避ける。

シンクロトロン放射装置：超高真空（≦10µPa）を維持して、電子ビーム経路に干渉がないことを保障する。

利点：アルミニウムの軽量性は大型光学装置の設置と調整に便利である。

3.航空宇宙と空間シミュレーション

適用例：

衛星部品のテスト：地上で宇宙真空環境をシミュレーションし、熱制御システムまたはセンサーの性能をテストする。

イオン推進器試験：真空チャンバは外層空間条件をシミュレーションし、推進器効率を検証するために用いられる。

利点：アルミニウムの強度重量比が高く、宇宙機の軽量化ニーズに適している。

4.分析機器と表面科学

適用例：

電子顕微鏡（SEM/TEM）：試料ビンは真空で電子ビームと空気分子の衝突を避ける必要がある。

X線光電子分光法（XPS）：超高真空キャビティは表面分析に汚染がないことを確保する。

利点：アルミニウムは複雑な構造を加工しやすく、精密機器のコンパクトな設計に適している。

5.医療とバイオテクノロジー

適用例：

プロトン治療装置：真空チャンバはプロトンビームの正確な標的腫瘍を誘導する。

冷凍電子顕微鏡サンプルの製造：真空環境による氷晶汚染防止生物サンプル。

利点：アルミニウムの毒性の無さは医療設備の安全基準を満たしている。

6.工業用コーティングと包装

適用例：

マグネトロンスパッタリングめっき膜：真空チャンバ内に携帯電話のスクリーン、眼鏡に反射防止膜をめっきする。

食品包装アルミニウムめっき：真空蒸発プロセスによりプラスチックフィルム上にアルミニウム層を堆積する。

利点：アルミニウムキャビティは熱伝導が速く、めっき膜の均一性を高める。

7.量子技術（新興分野）

適用例：

量子コンピュータ低温システム：一部の超伝導量子ビットデバイスはアルミニウム真空洞中で振動と熱雑音を隔離する。

冷原子実験：レーザー冷却原子は超高真空環境（≦10ÅPa）を必要とする。