製品の紹介

HONGDUAN製のステンレス製キャビティは、その優れたシール性、耐腐食性、机械的強度と熱安定性のため、高真空または低真空環境で広く使用されます。

仕様&マテリアル

形状、規格、サイズカスタマイズ

材料：SUS304

用途&特徴

以下は典型的な応用シナリオと例です。

1.半導体産業

·チップ製造(リソグラフィ、エッチング、堆積)

プラズマエッチングや化学ガス相沈殿(CVD)装置では、ステンレス鋼の空洞は低真空(10立方メートル- 10タイPa)を維持し、プロセスガスの清浄性を保ちます。

·イオン注入機

真空チャンバーは不純物汚染を防ぎ、イオンビームがウエハに正確に注入されることを保証します。

2.航空宇宙

·宇宙機の模擬試験

地上で宇宙の超高真空環境（例えば10ÅPa）をシミュレーションし、衛星や望遠鏡コンポーネントの性能（ジェームズ・ウェバー望遠鏡の鏡面校正など）をテストします。

·ロヶット推進システム

燃料タンクと推進剤管路にはステンレス真空チャンバを採用し、酸化や漏れを防止している。

3.医療とバイオテクノロジー

·電子顕微鏡(SEM/TEM)

サンプルクラスなければ高真空(10⁻⁴~ 10⁻⁷pa)ビーム散乱を避け、ステンレスの弁体保障画像解像度。

·陽子線治療

加速器の真空チャンバーは、陽子ビームが転送中にエネルギーを失わないことを保証します。

4.新しいエネルギー

·核融合装置(トカマクなど)

真空室(例えば、ITERのステンレス真空室)は、高温プラズマを拘束するために使用されます。

リチウムイオン電池の製造です

電極材料の乾燥とカプセル化は低真空環境を必要とし、水分と酸素汚染を防止します。

5.精密製造

·薄膜コーティング(光学・装飾コーティング)

マグネチルトスパッタリングまたは蒸着装置では、ステンレスのチャンバーが真空(10平方- 10 Pa)を維持して均一なコーティングを実現しています。

·真空はんだ付け

溶接精密部品(例えば航空エンジンの羽根)の時、真空は酸化を防止し、溶接の強度を高めます。