产品介绍

宏端制作的不锈钢腔体因其优异的密封性、耐腐蚀性、机械强度和热稳定性，在高真空或低真空环境中应用广泛。

规格&材质

支持定制：形状、规格、尺寸客制化

材质：SUS304

用途&特点

典型的应用场景及示例：

1. 半导体工业

芯片制造（光刻、刻蚀、沉积）

在等离子体刻蚀机或化学气相沉积（CVD）设备中，不锈钢腔体维持低真空（10⁻³–10⁻⁶ Pa），确保工艺气体纯净。

离子注入机

真空腔体防止杂质污染，保证离子束精准注入晶圆。

2. 航空航天

航天器模拟测试

在地面模拟太空超高真空环境（如10⁻⁷ Pa），测试卫星或望远镜组件的性能（如詹姆斯·韦伯望远镜的镜面校准）。

火箭推进系统

燃料贮箱和推进剂管路采用不锈钢真空腔体，防止氧化或泄漏。

3. 医疗与生物技术

电子显微镜（SEM/TEM）

样品舱需高真空（10⁻⁴–10⁻⁷ Pa）避免电子束散射，不锈钢腔体保障成像清晰度。

质子治疗（癌症放疗）

加速器真空腔确保质子束在传输中无能量损失。

4. 新能源

核聚变装置（如托卡马克）

真空室（如ITER的不锈钢真空室）用于约束高温等离子体，要求真空度达10⁻⁵ Pa以上。

锂离子电池生产

电极材料干燥和封装过程需低真空环境，防止水分与氧气污染。

6. 精密制造

薄膜镀膜（光学、装饰涂层）

磁控溅射或蒸镀设备中，不锈钢腔体维持真空（10⁻²–10⁻⁵ Pa）以实现均匀镀膜。

真空钎焊

焊接精密部件（如航空发动机叶片）时，真空防止氧化，提升焊缝强度。