上海宏端精密机械有限公司-半导体加热盘

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产品分类

CLASSIFICATION

半导体加热盘

【分类】铠装加热器系列

【概述】

是一种广泛应用于半导体制造过程中的关键设备

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是一种广泛应用于半导体制造过程中的关键设备

6寸，8寸，10寸，12寸

它在化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）等工艺步骤中发挥着至关重要的作用。这种加热盘不仅直接影响到工艺的稳定性和产品的质量，而且其技术指标如温度范围、加热均匀性等都是保证工艺成功与否的关键因素。专门用于加热晶圆，确保在整个工艺过程中温度的均匀分布，从而提高工艺的一致性和产品质量。

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