铠装加热器,热电偶、热电阻以及精密加工件、钣金件等系列产品
服务热线
Product Center
首页 产品中心 铠装加热器系列
产品分类
【分类】铠装加热器系列
是一种广泛应用于半导体制造过程中的关键设备
6寸,8寸,10寸,12寸
它在化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)等工艺步骤中发挥着至关重要的作用。这种加热盘不仅直接影响到工艺的稳定性和产品的质量,而且其技术指标如温度范围、加热均匀性等都是保证工艺成功与否的关键因素。专门用于加热晶圆,确保在整个工艺过程中温度的均匀分布,从而提高工艺的一致性和产品质量。
地址:上海松江区叶榭镇叶繁公路208号1栋
电话:86-21-37691282 ,37691283
邮箱:sales@hongduan.net
地址:浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇清凉大道199号
地址:东京都港区新橘四丁目21番3号
电话:03 6895 7452
邮箱:h_miyashita@honglin.jp ;caij@honglin.jp;shixiaojing@honglin.jp