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半导体加热盘

【分类】铠装加热器系列

【概述】

是一种广泛应用于半导体制造过程中的关键设备

产品介绍


是一种广泛应用于半导体制造过程中的关键设备


规格&材质


6寸,8寸,10寸,12寸


用途&特点


它在化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)等工艺步骤中发挥着至关重要的作用。这种加热盘不仅直接影响到工艺的稳定性和产品的质量,而且其技术指标如温度范围、加热均匀性等都是保证工艺成功与否的关键因素。专门用于加热晶圆,确保在整个工艺过程中温度的均匀分布,从而提高工艺的一致性和产品质量。

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